超纯水处理

废水类型：超纯水处理

废水介绍：最近几年超大规模集成电路的生产有了快速发展，对超纯水的水质提出了更高的要求，超纯水中所含杂质的允许含量越来越低，同时需要控制的杂质种类也越来越多。为了有效去除各种杂质，需要各种处理手段的综合运用。

基本流程图：

通常我们超纯水系统分为三部分：预处理，初级处理和抛光精制处理：

1.预处理系统通常由过滤杀菌和防氧化工艺组成；

2.初步处理系统主要由反渗透、离子交换器、膜脱气、紫外设备等组成。

3.精制处理部分通常包括TOCUv、抛光混床、膜脱气以及终端超滤装置。