废水特性与来源

废水类型名称：晶圆级IOX光波导生产废水，分为高浓光刻有机废液、含氟蚀刻废水、基板清洗废水、设备换产冲洗废水四类。

典型污染物清单：光刻胶、TMAH、醇类有机溶剂（高COD）；氟离子、钠钾盐、微量贵金属离子；亚微米硅溶胶胶体、微细悬浮物；酸碱缓冲剂、少量络合污染物。

主要来源工序：IOX离子交换、光刻涂布显影、湿法化学蚀刻、光波导基板超声波清洗、产线设备定期冲洗、废气洗涤排水等环节。

水质特点：间歇排放，换产带来水质水量剧烈波动；高浓废液COD极高，有机污染物可生化性极差；含高浓度氟化物与无机盐，属于高盐废水；胶体颗粒粒径极小，极易造成膜堵塞；pH在2～12之间大幅波动。

为何不能按普通污水对待：废水含氟化物、难降解光刻有机物与微量贵金属，属于电子工业严控废水；B/C比值极低，普通生化极易中毒失效；微细胶体无法通过常规沉淀去除；高低浓度废水混排会持续冲击处理单元。若套用普通污水工艺，COD、氟化物长期超标，膜元件快速污堵，无法满足半导体严苛的回用与排放指标。

晶圆级IOX光波导废水处理难点

该废水组分复杂、水质波动极强，必须通过小试与中试验证，规避工程落地风险。光刻胶等有机污染物难降解，生化抑制性强，氧化药剂投加窗口窄，需要精准试验标定；氟离子去除易受共存盐类干扰，除氟药剂与pH控制精度要求极高；亚微米胶体极易造成超滤、RO膜不可逆污堵，大幅缩短膜寿命；高盐组分不断富集，后端DTRO与蒸发器极易结垢。只有依托中试平台完成破胶、除氟、有机降解、膜防污堵、蒸发防结垢全流程测试，才能提前解决出水超标、膜堵塞、设备结垢等隐患，保障系统长期稳定运行。

晶圆级IOX光波导废水推荐处理工艺路线

整套处理严格遵循分质收集原则，搭建“源头分流→物化预处理→生化/深度处理→回用/零排放”完整技术链条，匹配案例采用的袋式过滤器+超滤+RO+DTRO+蒸发器成套工艺。

〔分质收集建议〕严格执行污污分流：高浓度光刻废液、含氟蚀刻废水、含金属清洗废水、低浓度冲洗废水分别采用独立密闭管网单独收集；高浓废液单独储存预处理，严禁与稀废水混排，避免高浓度有机物、氟离子冲击膜系统，从源头降低药剂消耗、减少膜污堵风险。

〔核心工艺组合〕采用分质收集+袋式过滤+超滤UF+RO反渗透+DTRO碟管式反渗透+MVR蒸发结晶路线。先经袋式过滤器去除大颗粒杂质，再通过超滤去除亚微米胶体悬浮物，保护后端膜组件；出水依次进入RO、DTRO多级膜浓缩，将清水分离回用；膜浓缩产生的高盐浓水送入蒸发器结晶处理，盐分固液分离，实现废水减量。

〔达标/中水回用路线〕膜产水可直接达到EC≤350μs/cm的回用标准，回用于基板清洗工序；少量高盐浓水经蒸发结晶实现近零排放，无外排废水。整套工艺依托中试数据优化运行参数，有效解决胶体堵膜、盐类富集结垢难题，保障长期稳定回用。

晶圆级IOX光波导废水处理小试/中试能力

针对晶圆级IOX光波导废水的去除效果，我们可开展连续性中试试验，精准验证胶体预处理、膜过滤防污堵、多级膜浓缩、高盐浓水蒸发防结垢等关键工艺参数，把水质波动冲击、胶体堵膜、蒸发器结垢、盐分富集等风险在项目动工前全部消除，为工程施工图设计提供完整可靠的数据支撑，保障中水回用指标长期稳定达标。

依斯倍已建完成标准的化学检验实验室。公司研发设备有近40台，多为国外进口设备，主要包括：VOC检测仪、便携式水质分析仪506、分光光度计、融氧仪、消解器、电子天平、悬浮物506、磁力搅拌器、电动搅拌器等，保证研发产品及技术可达到国际先进水平。

拥有包含UDF膜、TMF、高级氧化、臭氧微纳米、除油陶瓷膜、脱氨、电渗析等10余种废水处理中试研发装置，广泛应用于20多个行业

依斯倍工业废水处理中试平台入选首批国家重点培育中试平台名单，成为2025年苏州工业园区唯一获此殊荣的企业。

资质与合规能力

依斯倍环保工程设计承包及运维能力相关资质
• 环保工程专业承包资质
• 建筑机电安装工程专业承包资质
• 江苏省环境污染治理工程设计资质
• 江苏省环境污染治理能力资质
• 污染治理设施运行服务能力资质
• 建筑施工企业安全生产许可

依斯倍严格执行国家及地方环保法律法规、排放标准与环评要求的全面合规ISO 9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全管理体系的贯彻实施高危化学品系统的安全合规设计，符合GB、SEMI等国际国内安全标准。协助客户完成环评验收、排污许可证申领，确保出水稳定达标

其他重要资质与荣誉
• 江苏省专精特新企业、瞪羚企业
• 江苏省有机管式超滤膜环保应用工程技术研究中心
• 苏州工业园区年度经济贡献突出奖（2024年）
• 苏州工业设计中心（2024年认定）
• 苏州市工业设计产品优秀奖（2020年）
• 天津大学工业废水处理领域“领军企业”（2020年）
• 国家工信部《国家鼓励的工业节水工艺、技术和装备目录》入选（2023年）
• 中华环保联合会2025年度科学技术奖
• 国家首批重点培育中试平台（2025年，苏州工业园区唯一入选）
• 江苏省节水设备（产品）和技术目录入选（2025年）
• 主编国家《电子行业废水废液深度处理及资源化关键技术标准》
• 参与编制的光伏电池生产废水处理及回用技术规程正式发布

合作模式

• 模块化设备/一体化装置：适用少量废水、快速达标、不停产改造。
• EPC 总包：适用新建厂区，设计+建设+调试+运营一体。
• 废水站提标改造：适用既有站提标、扩容、回用升级。
• 托管运营/BOO/BOT：适用缺乏运维人员、要稳定达标与降本。
• 零排放(ZLD)：适用高盐高浓、水资源回用与减排要求高的产线。

典型案例

区域服务说明

依斯倍苏州总部（华东）+重庆子公司（成渝/西部/西南）；工程案例覆盖全国近半数省市，具备就近的运维团队，可提供安装调试、定期水质监测、应急处理及操作人员培训。

FAQ

Q1：机加工废水处理一般采用什么处理工艺？
A1：依斯倍采用“分质预处理+生化降解+多级膜浓缩（MBR/UF/RO）+MVR蒸发结晶+EDI”的模块化路线，针对机加工废水处理的水质特点定制组合，兼顾达标排放与中水回用/零排放。

Q2：机加工废水处理出水可以达到什么标准？
A2：依斯倍可按企业回用或零排放要求设计，典型出水电导率 EC≤10μs/cm、COD≤50mg/L，满足生产回用及《污水综合排放标准》（GB 8978）等接管/排放标准。

Q3：依斯倍在机加工废水处理领域有哪些核心优势？
A3：荷兰技术背景、170余项知识产权、工业废水处理中试平台、数字化智慧运维，以及研发设计—系统交付—运营维护的一站式交付能力，已服务多家世界500强制造企业。

Q4：如何获取机加工废水处理的定制方案与报价？
A4：提供水质资料与水量规模后，依斯倍可免费评估并出具工艺方案。咨询热线 400-828-6100，官网 www.cps88.com。